クラス100クリーンルームにおけるFFU、空調、照明の配置方法

ISO 14644規格によれば、クラス100（ISOクラス5）のクリーンルームは、最高レベルの清浄度を誇ります。では、このような高清浄度クリーンルームでは、ファンユニット（FFU）、空調設備、照明設備はどのように配置すべきでしょうか？

実際、クラス100クリーンルームの基本原理さえ理解していれば、レイアウトは容易に計画できます。クラス100クリーンルーム設計の核心は、「一方向、垂直、均一」な気流を実現・維持し、粒子を制御して清浄度を確保することです。

したがって、ファンフィルターユニット（FFU）、空調設備、照明設備は、「気流優先と機能適応」の原則に基づいて計画する必要があります。具体的な要件は以下のとおりです。

I. FFU（ファンフィルターユニット）：クラス100クリーンルームの天井は完全に覆われている必要があります。FFUは浄化装置の中心であり、その配置は全面カバー方式を採用する必要があります。つまり、天井全体をFFUで密に覆い、カバー率は通常80%を超えます。この設計により、清浄な空気がピストンのように均一かつ垂直に下方に押し出され、汚染物質を二重床の還気口に向かって急速に押し出し、一方向の層流を形成することで、作業エリアを効果的に保護します。FFUの均一な配置は、気流のデッドゾーンを回避し、清浄度レベルを維持する上で重要です。

II. 空調と気流の構成：上部給気・下部排気方式のクラス100クリーンルーム。クリーンルームの空調システムはFFU（フローティングフィルターユニット）に接続する必要があります。FFUで処理された清浄空気は垂直下方に送られ、二重床の還気口と連携して整然とした下方への気流を確保します。この「上部給気・下部排気」方式により、機器や作業員から発生する粒子を効率的に除去できます。空調ユニットは還気の処理、温度と湿度の調整、二次ろ過、新鮮な空気との混合、プレナムチャンバーを介したFFUへの分配を行い、閉ループを形成します。

III. 照明レイアウト：FFUモジュールと統合。クラス100クリーンルームの照明器具は、防塵、帯電防止、グレアフリーのLEDクリーンルームライトでなければならず、天井に埋め込んで密閉し、粉塵の蓄積や気流の乱れを防ぎます。一般的には、HEPAフィルターフレームの下にLEDティアドロップライトが設置されます。これらのライトは気流の妨げを最小限に抑え、均一な照明を確保しながら一方向の流れの安定性（>300 lx）を維持します。影ができないように、作業エリアの上部に均等に配置されます。

クラス100クリーンルームのレイアウトは複雑なシステムです。天井をFFU（ファンフィルターユニット）で覆うことで層流コアが形成され、下部からの還気によって整然とした気流が構築され、照明やその他の設備が天井レイアウトに高度に統合されています。これら3つの要素が完璧に調和して機能することで、安定した効率的なクリーン環境が実現されます。