クラス100クリーンルームにおけるFFU、空調、照明の配置方法

ISO 14644規格に基づくクラス100（ISOクラス5）クリーンルームは、最高レベルの清浄度に相当します。では、高清浄度クリーンルームでは、FFU、空調、照明はどのように配置すればよいのでしょうか？

実は、クラス100クリーンルームの基本原理を理解していれば、レイアウトの計画は簡単にできます。クラス100クリーンルーム設計の核心は、「一方向、垂直、均一」な気流を実現・維持し、パーティクルを抑制して清浄度を確保することです。

したがって、FFU（ファンフィルターユニット）、空調、照明は、「気流優先と機能適合」の原則に従って計画する必要があります。具体的な要件は次のとおりです。

I. FFU（ファン・フィルター・ユニット）：クラス100クリーンルームの天井は完全に覆われている必要があります。FFUは中核となる浄化装置であり、その配置は天井全体をFFUで密に覆うフルカバー方式を採用する必要があり、カバー率は典型的には80%を超えます。この設計により、清浄な空気がピストンのように均一かつ垂直に下方に押し出され、汚染物質を床上換気口へと急速に押し出すことで一方向の層流が形成され、作業エリアを効果的に保護します。FFUの均一な配置は、気流のデッドゾーンを回避し、清浄度レベルを維持する上で重要です。

II. 空調と気流構成：上部給気・下部還気方式のクラス100クリーンルーム。クリーンルームの空調システムは、FFU（ファンファン）に接続する必要があります。FFUで処理された清浄な空気は垂直下方に送り出され、上げ底の還気口と連動して、整然とした下向きの気流を確保します。この「上部給気・下部還気」方式により、機器や人員によって発生する粒子を効率的に除去します。空調ユニットは還気の処理、温度と湿度の調整、二次濾過、外気との混合、そしてプレナムチャンバーを介してFFUに分配し、閉ループを形成します。

III. 照明レイアウト：FFUモジュールとの統合。クラス100クリーンルーム照明器具は、防塵、帯電防止、グレアフリーのLEDクリーンルームライトを使用し、天井面と一体化して埋め込み、密閉することで、塵埃の蓄積や気流の乱れを防ぎます。一般的にはLEDティアドロップライトが使用され、HEPAフィルターフレームの下に設置されます。これらのライトは気流の妨げを最小限に抑え、均一な照明を確保しながら、一方向の気流安定性（300ルクス以上）を維持します。作業エリアの上部に均等に配置され、影ができないように配慮されています。

クラス100のクリーンルームのレイアウトは複雑なシステムです。天井をFFU（ファン・フィルター・ユニット）で覆うことで層流コアを形成し、下方から還気することで整然とした気流を構築し、照明などの設備が天井レイアウトに高度に統合されています。これら3つの要素が完璧に調和することで、安定的かつ効率的なクリーン環境が構築されます。