モジュラークリーンルーム内の汚染源は、実験の精度を脅かすだけでなく、製品の品質と安全性を損なう可能性もあります。そのため、クリーンルームでは、厳格な空気ろ過システム、綿密な人員管理、そして徹底した清掃手順によって汚染を制御しています。
モジュラークリーンルームにおける主な汚染源は、通常、微小ではあるものの無視できない粒子です。人の往来によって持ち込まれる埃や衣服の繊維、あるいは機械設備の稼働によって発生する摩耗粉などがその例です。さらに、化学ガスや微生物も汚染の原因となる可能性があります。化学ガスは実験室で使用される試薬や洗浄剤に由来する可能性があり、微生物は人体や機器の表面に付着し、適切な環境下では急速に増殖します。
モジュール式クリーンルームにおけるこれらの汚染源のうち、各種作業員や検査員による汚染が大きな割合を占めています。人体の代謝過程では、大量の化学物質が生成され、関連情報によると、その種類は500種類以上に及ぶと言われています。そのうち、呼吸器系はCO2など140種類以上の化学物質を排出し、毛髪、爪、皮脂腺などを含む人体の皮膚代謝は270種類以上の老廃物を排出し、CO2、アセトンなど150種類以上の水分を排出します。
現代のハイテクモジュール式クリーンルームでの多くの製品生産工程は密閉された状態で製造されているため、人による汚染の程度は低下しています。 しかし、医薬品、健康食品、化粧品、食品、精密機械などの製品生産において、人による汚染の割合は依然として主要なものです。 人体には液体(唾液、涙、汗など)の形で高濃度のナトリウムが含まれており、シリコンウェーハ加工中にナトリウム分子汚染を厳密に管理する必要があります。 人が規則に違反して化粧品、香水、ヘアケア製品を使用したり、クリーンルーム(区域)内またはその付近で喫煙したり、食べ物や薬を食べたりすると、深刻な分子汚染が発生します。 そのため、ハイテク製品の製造工程が厳格であればあるほど、厳格な規則と規制を通じて、モジュール式クリーンルーム(区域)に入るすべての種類の人員は分子汚染源から管理されます。
投稿日時: 2024年9月4日
